MAX-iR FTIRガスアナライザー

MAX-iRは、サーモフィッシャーサイエンティフィック社が提供するガス専用のFTIR分析装置で、高感度・高安定性のリアルタイムマルチガスモニタリングを実現します。インラインプロセスから純ガス中の微量不純物測定など、様々な用途でppb以下レベルから%オーダーまでの成分測定が可能です。StarBoost™光学技術とオートリファレンス機能により、測定中のドリフトを抑制し、長時間にわたり正確なガス分析を維持します。触媒評価から排ガス連続監視まで多彩なアプリケーションに対応し、脱炭素社会に向けた連続ガス分析にも貢献する先進ソリューションです。

＊製品持ち込みデモ可能です。

特長

• 超高感度・高安定モニタリング: StarBoost™技術によりppb以下レベルの微量成分検出を実現。%濃度まで対応する広いダイナミックレンジにより、極低濃度から高濃度まで安定したモニタリングが可能です（用途：半導体グレード高純度ガス中の微量不純物、微量水分測定など、低濃度成分の精密分析にも最適）。
• 自動校正と定性・定量分析: オートリファレンス機能によりバックグラウンドドリフトを排除し、日常的な校正作業を不要にします。専用ソフトウェア、ガスキャリブレーションと組み合わせることで多成分ガスの同時定性・定量分析が可能です（複雑な混合ガスの連続モニタリングにおいても精度と再現性を維持）。
• 純ガス中の微量成分測定: 高純度バルクガス（N2、Ar、He、H2、CO2など）の純度認証試験や微量不純物の測定に対応。半導体グレードのガス品質管理や触媒反応試験においても微量成分を正確に測定できます（用途：高純度ガス分析や触媒評価における成分測定に最適）。
• 多彩な用途・脱炭素への貢献: インラインプロセスモニタリングから排ガスモニタリング、燃焼ガス試験まで幅広く対応。純ガスやCO2中の微量不純物分析（ISBT、CCS、DACなど）、半導体プロセスガスの測定、作業環境モニタリング、酸化エチレン（エチレンオキシド/EOG）測定にも対応し、脱炭素・カーボンニュートラルに向けた連続ガス監視にも最適です（プロセス開発から環境規制対応まで幅広く活用可能）。